產品名稱:高純鉻靶 、鉻靶材 、鉻靶塊 、鉻圓柱靶
可定制靶材規格:
圓靶(直徑φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)
板靶(長<500mm,寬<500mm,高<25mm)
管靶(外直徑φ3.0mm-φ300mm,內直徑φ2.0mm-280mm)
材料純度:>99.995%
金屬雜質含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整度(STIR):<10μm
翹曲度(Warp):<50μm